洁净风淋室的湿度要跟着工艺的不同而不同

2018-05-25  来自: 苏州洁尔欣净化科技有限公司 浏览次数:422

  

  洁净风淋室的湿度要跟着工艺的不同而不同,不过在满意工艺要求的前提下,也要考虑洁净室工作人员的舒适度。不过关于洁净室的湿度设定并不是一个固定的数值,现在,跟着出产工艺的要求的进步,洁净室的湿度操控也要求越来越严格。

  详细工艺对温度的要求今后还要罗列,但作为总的准则看,因为加工精度越来越精密,所以对温度动摇规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性胀大,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗今后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超越25度。

  湿度过高发生的问题更多。相对湿度超越55%时,冷却水管壁上会结露,假如发生在精密设备或电路中,就会引起各种事端。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的尘埃化学吸附在外表耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又因为静电力的效果使粒子也简单吸附于外表,同时大量半导体器材简单发生击穿。关于硅片出产最佳温度规模为35—45%。

  人体舒适感一般与下列要素有关:空气温度湿度,吹过人体的空气速度,地点空间内各种外表温度,人的活动强度,生活习惯,穿着情况,年纪性别等。

  上述几种不同要素的组合能够给人以相同的冷热感觉即舒适感。在浩净室中因为工作人员都穿洁净工作服,有时还穿两套这样的工作服,而洁净工作服一股是用尼龙、的确良等制做,透气性较差,所以洁净定中感到较舒适的温湿度比一般环境的较低。所以(空气洁净技术措施》建议除工艺要求外,洁净室温度宜选用18—26度,相对温度则宜用40—60%,夏日取上限,冬天取下限。



关键词: 洁净风淋室           

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